1) 采用剛性好的固定橋式結構，具有 精度、 性能和 穩定性的優點；

2) 四軸均采用精密滾珠絲杠傳動，具有剛性高，反向間隙小、傳動精度高的特點；

3) 采用優質花崗巖空氣軸承導軌結構，熱膨脹系數小，導向精度高，運行平穩；

4)  Y向采用燕尾式氣浮導軌設計，使其在X、Z方向具有較強的抗扭強度；

5) Z軸采用獨特技術的氣浮套結構，偏置力矩小，運動平穩；

6) 光柵尺采口精度插槽式光柵尺；

7) 配備5環8區四色環形光源、輪廓光源、同軸光源，可控光源系統，智能實現光源亮度調節。